清洁车间竣工检验的主要试验内容一般应包括以下试验：（1）气流目视检查; （2）风速和风量测试; （3）空气滤清器泄漏检测; （4）洁净室（区）气密性试验; （5）房间之间的静压差测试; （6）空气洁净度; （7）产品生产工艺要求，应进行微生物试验或化学污染物试验或特殊表面清洁试验; 8）自洁时间; （9）温度，相对湿度; （10）照度值; （11）噪音水平; （12）建筑商需要进行的其他测试项目。
如何使洁净室更节能在洁净室中有许多节能的地方，净化工程报价，如供暖，通风和空调（hvac），净化工程，过程冷却，压缩空气和一些其他设施。 hvac系统消耗的电量超过整个晶圆制造设施的一半。大量浪费的电力和hvac容量过剩的原因主要是由于设备的设计和建造的捷径，尽可能地压缩初始投资，而不管后期的运营成本。的设计和的设备需要大量的前期投资。所谓的快捷方式和“节省大量废物的小地方”的成本降低将导致工厂性能降低和能源消耗增加。
净化厂房原理
气流—初效空气处理—空调—中效空气处理—风机送风—净化管道—送风口—洁净室—带走尘埃—回风夹道—新风。
不同等级设计参数：
换气次数：十万级10-15次/小时；万级15-25次/小时；千级50-52次/小时；百级操作台断面风速0.25-0.35m/s
压差：主净化车间对相邻车间***5pa
温度：冬季＞16℃±2℃；夏季＜26℃±2℃；
相对湿度：45－65％（rh）；噪声≤65db（a）；
新风补充量：总送风量的20％－30％；
照度：***300lux。
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