洁净厂房的平面和空间设计，宜将洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房进行分区布置。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、气流组织型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。
洁净厂房设计必须合理确定各种管线的平面位置和竖向标高。
洁净厂房内各种固定技术设施(如送风口、照明器、回风口、各种管线等)的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求。
如何使洁净室更节能在洁净室中有许多节能的地方，如供暖，通风和空调（hvac），手术室净化工程安装，过程冷却，压缩空气和一些其他设施。 hvac系统消耗的电量超过整个晶圆制造设施的一半。大量浪费的电力和hvac容量过剩的原因主要是由于设备的设计和建造的捷径，尽可能地压缩初始投资，手术室净化工程，而不管后期的运营成本。的设计和的设备需要大量的前期投资。所谓的快捷方式和“节省大量废物的小地方”的成本降低将导致工厂性能降低和能源消耗增加。
无尘室送风量计算主要是指在已知洁净级别或允许菌浓等条件下计算风量，手术室净化工程报价，其步骤是：
正压无尘室送风量qⅰ计算：
乱流无尘室送风量计算q1-1乱流无尘室——1000级、10000级、100000级、300000级的无尘室，送风量是以换气次数为准来计算的：qⅰ-1=kv式中：k——换气次数；v——无尘室净体积；n——非单向流无尘室稳定含尘浓度；g——无尘室内单位体积发尘量；m——室外空气含尘浓度；s——回风量与送风量之比；ηh——回风通路上过滤器的总效率；ηx——新风通路上过滤器的总效率。实际工程计算中换气次数k很难用以上公式计算，一般均采用经验换气次数。在各国的无尘室标准中，相同级别的非单向流无尘室的经验换气次数并不相同。我国<洁净厂房设计规范>
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